骑士文学

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第一四七五章 90nm光刻机（第1页）

“邓院长，我代表京城半导体公司，奖励研发部500万元。”

啪啪……

8月15日，接到总经理魏建国的电话，京城光刻机研究院研发成功了90nm制程工艺光刻机，孙健非常高兴，第二天上午就乘飞机从江城来到京城，在京城光刻机研究院会议室接见了包括院长邓国辉院士、副院长欧阳明院士、副院长陈伟长院士、光刻机自动化研究所所长夏季常院士在内的200多名90nm制程工艺光刻机研发部的研发人员。

京城光刻机研究院在不到一年的时间内研发成功90nm光刻机，厚积薄发，孙健不会感到惊讶，经过近9年的快速发展，加上舍得投资，京城光刻机研究院下属10家研究所（部）人才济济，国内近八成的顶尖光刻机人才都在这里。

京城半导体公司拥有4名光刻机专业顶尖的院士，教授、研究员、教授级工程师近百人，这在国内科研院所和公司中都是绝无仅有的事情。

如今没有专业博士文凭，很难进入京城光刻机研究院。

1998年9月，GCA和Nikon先后研发成功90nm制程工艺的光刻机；2000年8月，Intel、IBM、IT、AMD、HP各自投资25亿美元（包括基建费用）建设的一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线先后量产。

2000年，ASML、Canon、SVG先后研制成功90nm制程工艺的光刻机。

1999年，PGCA半导体公司申请从GCA购买一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线，但遭到美国商务部否决，重新申请购买一条12英寸晶圆、180制程工艺的半导体生产线，3个月后才批准，2000年12月7日，这条生产线才量产。

得陇望蜀！

2000年12月底，孙健怂恿中村三郎代表曙光东芝晶圆公司，从东芝公司引进一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线，但遭到日本半导体协会拒绝；曙光东芝晶圆公司花费15亿美元（包括从BSEC采购40台250nm制程工艺的光刻机）从日本引进了一条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线，如今还处于设备安装阶段，9月下旬试生产。

国内有了二条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线，台积电、三星都只有一条。

京城半导体公司（BSEC）研制成功的90nm制程工艺的光刻机虽然比GCA和Nikon晚了近三年的时间，比ASML、Canon、SVG晚了一年多的时间，但已经是一项了不起的成就。

美西方国家禁止出口最先进的技术和生产线给国内，孙健多次遭遇“有米无锅”的局面。

1993年3月，孙健奉命接手工业部四十五所、中K院微电子研究中心和中K院沪海光学精密机械研究所及其配套工厂，组建BSEC，BSEC生产的光刻机，制程工艺同GCA和Nikon相比，相差四代，落后20年都不止！

BSEC同中K院、华清、燕大、哈工大、国科大、华中大学、沪海硅片制造厂、冰城光源材料厂、金城激光器制造厂、金城金属气体厂等97家科研院所和公司长期保持合作关系，联合开发单晶硅、光源材料、激光器材料和光刻气体等技术攻关项目。

半导体产业发展日新月异，要不是全球光刻机产业被193nm波长的世界性光学难题卡住了，GCA和Nikon早就研制65nm制程工艺，甚至40nm制程工艺的光刻机了。

一步先步步先，光刻机的制程工艺不是花钱就能迅速解决的技术难题。

孙健将BSEC赶上GCA和Nikon的希望主要寄托在全球光刻机产业被卡在193nm波长的世界性光学难题上。

BSEC借助于出售磁悬浮式双工作台系统技术收取的专利费，于1995年实现盈利后，拿到了特批的上市额度，在鹏交所公开发行了15亿股（包括1000万职工股），发行价6元，融资873亿元（扣除发行费用），其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500nm制程工艺光刻机，073亿元用于补充公司流动资金。

总股本增加到95亿股，每股净资产345元。

1996年6月24日，BSEC在鹏城证券交易所成功上市（其中1000万职工股于6个月后流通），首日以1758元收盘，上涨1158元，涨幅193。

光刻机被称为工业皇冠上的明珠，是一个国家科技实力的综合体现。

1997年最高涨到4578元，BSEC成为鹏沪股市第一科技股。

BSEC1996每股分红12元；1997年10配3股，1998年10送13元，1999年10送18元，2000年10送2股，如今总股本增加到1521亿股，总资产9652亿元，净资产5703亿元，每股净资产375元。

周三，BSEC收盘2754元，总市值419亿元。

公司有重大事项公布，已经申请临时停牌。

BSEC属于上市公司，孙健也不敢隐瞒，研制成功90nm制程工艺的光刻机知道的人太多，公司管理层和普通员工都是股民，都在BSEC的职工股上赚了一大笔钱。

连李昌杰都不知道，BSEC研究院院长邓国辉院士和光刻机光学研究所所长钱富强研究员率领光源研究所的140多名研发人员，经过近3年的潜心研究，在孙健的“点拨”下，终于在1999年7月研制成功浸没式光刻系统技术，ArF激光器发射的193nm光源通过纯净水的折射，得到了波长134nm的光源，解决了业界遇到的193nm波长的世界级难题，因所用的光学系统是委托CarlZeissAG生产的，没有完全自主的知识产权，秘而不宣，等BSEC光刻机光源研究所研制的光学系统达到要求后，再申请公司发明专利。

只能委屈钱富强和140多名研发人员（签了保密条例）。

邓国辉和钱富强从1999年8月开始立项，BSEC投资1亿元，带领光刻机光源研究所，静下心来开始研发EUV。

作为上市公司，BSEC发布公告，投资1亿元继续研究193nm波长的世界级难题。

即使能得到蔡司公司最先进的透镜和反射镜系统，有资金支持，孙健也怀疑BSEC研究院能否在20年内研制成功EUV光刻机？

上半年，在B股对外开放的消息刺激下，上证指数高歌猛进，6月12日创了2245点的历史新高。6月13日，在减持国有股的利空消息下，连续大跌，跌幅和跌速吓人。

从6月13日的2245跌到周三收盘的1647点，二个月的时间跌幅高达2664，理论上已经进入熊市，散户们瞠目结舌，投机客慌忙逃窜。

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